蒸餾設備的減壓蒸汽蒸餾方式常在水中蒸餾時結合進行。有些富含不飽和烯烴類成分的精油，如柑桔類精油，因溫度高，易引起“熱聚”，減壓蒸餾就能降低蒸餾溫度，以減輕因熱而聚合的現象。減壓常在冷凝器餾出段處進行減壓，由于減壓雖然加快了蒸餾速度，但溫度下降時，水的蒸汽壓降低遠比油慢，所以水對油的質量比率相對增高，因而要求冷凝器應該有較大的冷凝。

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     加壓蒸餾，一般常采用加壓直接蒸汽蒸餾的方式。由于壓力升高，鍋內溫度也隨之升高，而水的蒸汽壓力升高并不隨溫度升高而比增長，油的蒸汽壓力卻隨溫度升高成正比增長，于是這就加大了油水比例中油的比例。同時，在加壓過程中，由于蒸餾溫度升高，加快了“水散”作用，使精油中粘度大、沸點高的以及揮發低的成分得以擴散和蒸出，從而也縮短了蒸餾時間。
     但加壓不能過高，否則會引起精油中一部分成分熱解，一般加壓范圍為0.1~0.4Mpa。這種蒸餾設備的減壓或加壓蒸汽蒸餾方式 常適合于含有沸點高，粘度大及含有較高含氧倍半萜類精油的蒸餾。